VT6000大傾角超清納米共聚焦測(cè)量顯微鏡用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它是基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

中圖儀器VT6000高分辨率共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

VT6000共軛共焦顯微鏡測(cè)量技術(shù)基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000系列3D微觀形貌共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，3D 建模算法等，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。

VT6000共聚焦陡峭角度測(cè)量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。

VT6000三維共聚焦白光顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。